凈化工程設(shè)計過程中，應(yīng)加強對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力,設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。

　　1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

　　這是一個傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

　　優(yōu)點：

　　A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;

　　B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

　　C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;

　　D.維修頻率較低;

　　E.車間的噪音低。

　　缺點：

　　A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調(diào)機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30┫的機房的;

　　B.造價高。

　　特點：

　　A.建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

　　B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

　　2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機+增壓風柜+高效送風口

　　與前種方案比較，這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。

　　優(yōu)點：

　　A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行控制;

　　B.布置靈活。自帶冷源;

　　C.大小廠房、新舊廠房都適用;

　　D.維修頻率較低;

　　E.車間噪音低。

　　缺點：

　　A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

　　B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;

　　C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

　　3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機++FFU送風口

　　這是簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。

　　優(yōu)點：

　　A.不需要占用機房面積，布置很靈活的;

　　B.可以滿足空氣的潔凈度;

　　C.造價低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;

　　D.送風均勻度好。

　　缺點：

　　A.溫濕度控制較差;

　　B.可以滿足空氣的潔凈度;

　　C.FFU的維修頻率高。