凈化工程設(shè)計(jì)過程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力,設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。

　　1、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口

　　這是一個(gè)傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。

　　優(yōu)點(diǎn)：

　　A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;

　　B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

　　C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;

　　D.維修頻率較低;

　　E.車間的噪音低。

　　缺點(diǎn)：

　　A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房，如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對(duì)于舊廠房改造項(xiàng)目來說比較困難空出一個(gè)20-30┫的機(jī)房的;

　　B.造價(jià)高。

　　特點(diǎn)：

　　A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);

　　B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)、十萬級(jí)等較低的凈化無塵廠房。

　　2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

　　與前種方案比較，這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。

　　優(yōu)點(diǎn)：

　　A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;

　　B.布置靈活。自帶冷源;

　　C.大小廠房、新舊廠房都適用;

　　D.維修頻率較低;

　　E.車間噪音低。

　　缺點(diǎn)：

　　A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

　　B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;

　　C.造價(jià)較低。特點(diǎn)：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等的凈化無塵廠房。

　　3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口

　　這是簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。

　　優(yōu)點(diǎn)：

　　A.不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活的;

　　B.可以滿足空氣的潔凈度;

　　C.造價(jià)低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;

　　D.送風(fēng)均勻度好。

　　缺點(diǎn)：

　　A.溫濕度控制較差;

　　B.可以滿足空氣的潔凈度;

　　C.FFU的維修頻率高。